1.是借助精度為0.5m的電子（zǐ）水（shuǐ）平儀，用位移法可檢測大理石（shí）平台的直線度，用次方法（fǎ）可檢測大理石平台（tái）的平麵度，將檢（jiǎn）測的（de）結果經過算法換算，可得到大理石平（píng）台的直線度和平麵度的具體數值；其特點是精度不太高，但測量數據可靠（kào），無“0”點漂移問（wèn）題，特（tè）別適合於在線（xiàn）測量與檢測精密大理石平台。

 

2.測量精密大理石平（píng）台直線度的方法可以通（tōng）過精度為0.1m的電容測微儀用位移法測量，其表頭的示值即為精密大理石平台的直線度的誤差值；在此測量中，由於電感（gǎn）測微儀自身的“0”點漂移較嚴重，需經過長（zhǎng）達24h的穩定後，其數值才（cái）可（kě）信，故使得精密大理石平台加工與測量間的銜接時間增長。

 

更高精度精密（mì）大理石平台的（de）加工必須有更高一級精（jīng）度的檢測手段，目（mù）前常采用HP5528A或HP5529A動態校準儀，它的（de）顯示精度為1nm，可檢測平麵度、垂直度、直線度、時基即振動、角位移（yí）測量、對角（jiǎo）測（cè）量等等。動態校準儀的檢測精度特別高（gāo），但由於其複雜的光學（xué）係統和複雜的調試程序，尤其是光具返（fǎn）回（huí）光束的光強和保證在80%以上，否（fǒu）則光束將被擋住（zhù），這對精密大理（lǐ）石平台調試者來說